ZEISS GeminiSEM Microscopio Electrónico de Barrido de Emisión de Campo

La familia GeminiSEM es sinónimo de imágenes sin esfuerzo con resolución subnanométrica (NanoVP) y alta eficiencia de detección, incluso en modo de presión variable para su investigación en ciencias de materiales o ciencias de la vida, laboratorio industrial o instalaciones de imágenes. Utilice los detectores de mayor resolución, incluso en bajo vacío a 1.7 nm  3kV y 30Pa.

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VENTAJAS EN FE-SEM | LA FAMILIA GEMINISEM

Imagine cualquiera de sus muestras sin esfuerzo a una resolución de subnano y alta eficiencia de detección

Más Señal y Más Detalles

GeminiSEM 500 le ofrece más señal y más detalles, especialmente a muy bajos voltajes para cualquier muestra. Adquiera imágenes nítidas rápidamente y con un mínimo daño a la muestra.

  • Adquiera imágenes nítidas de manera rápida y con un mínimo daño de muestra gracias a la señal de detección de Inlens significativamente mayor.
  • Resuelva los detalles a nanoescala con alta resolución y contraste a bajos voltajes y obtenga una calidad de imagen perfecta, sin requerir sesgos de muestra.
  • A 500 V, puede resolver 1.0 nm con una calidad de imagen perfecta, sin requerir la desaceleración de la viga.
  • Aplique deceleración del haz, Tandem decel, y logre incluso hasta 0.8 nm a 1kV.
  • El nuevo modo de presión variable, NanoVP, te hace sentir como si estuvieras trabajando en alto vacío.

Velocidad y Sensibilidad para Imágenes

GeminiSEM 450 es su especialista en velocidad y sensibilidad superficial en imágenes y análisis. Logre la resolución espacial durante los experimentos EDS  EBSD de manera fácil y rápida.

  • Aproveche la alta resolución y la sensibilidad de superficie para su análisis EDS o EBSD, especialmente cuando trabaja con bajos voltajes.
  • La imagen de la muestra se genera a grandes áreas de forma rápida y con excelente calidad.
  • Beneficiese del diseño óptico: no pierda tiempo en relineamientos complicados a medida que trabaja.
  • Investiga muestra no conductoras, magnéticas o de cualquier tipo: Trabaje con alto vacío o presión variable, ya sea en la velocidad o la calidad de sus imágenes y análisis.

Flexibilidad de Imágenes

GeminiSEM 300 le permite experimentar alta resolución y alto contraste incluso en campos de visión extremadamente grandes. Es favorable por los usuarios novatos con alto o bajo vacío.

  • Amplié los campos de visión con una excelente calidad de imagen y un tiempo rápido de imagen.
  • Cuente con una detección eficiente, una resolución excelente e imágenes grandes de área sin distorsiones.
  • Beneficiese del modo de resolución de pistola con un novedoso diseño óptico que se adapta a imágenes de bajo voltaje, incluso para muestras desafiantes, como materiales magnéticos o sensibles al haz.
  • Caracterice su muestra de forma exhaustiva y obtenga un contraste único de bajo voltaje y un detector de retrodispersión selectivo de energía.
  • Utilice el nanoVP para muestras no conductoras de imágenes a alta resolución con una excelente sensibilidad de superficie con el detector Inlens SE a presiones más altas.

VENTAJAS EN FIB-SEM | RENDIMIENTO MICROSCOPIOS

Conéctese con otras soluciones nanotomografía - nanofabricación

La Tecnología detrás de ZEISS GeminiSEM

Géminis 1. Conceptos Básicos

Los SEM de emisión de campo están diseñados para imágenes de alta resolución. La clave para el rendimiento de una emisión de campo SEM es una columna óptica de electrones. Gemini está diseñado para una resolución excelente en cualquier muestra, especialmente a bajos voltajes de aceleración, para una detección completa y eficiente, y facilidad de uso.

La óptica de Géminis se caracteriza por tres componentes principales:

  • El diseño de la lente del objetivo Gemini combina campos electrostáticos y magnéticos para maximizar el rendimiento óptico y reducir al mínimo las influencias de campo en la muestra. Esto permite imágenes excelentes, incluso en muestras desafiantes como materiales magnéticos.
  • La tecnología de refuerzo de haz Gemini, una deceleración de haz integrada, garantiza tamaños de sonda pequeños y altas relaciones señal / ruido.
  • El concepto de detección de Gemini Inlens asegura una detección de señal eficiente al detectar electrones secundarios (SE) y retrodispersados ​​(BSE) en paralelo minimizando el tiempo de imagen.

 

Para que sus aplicaciones se beneficien de:

 

  • La estabilidad a largo plazo de la alineación SEM y la manera fácil de ajustar todos los parámetros del sistema tales? como corriente de la sonda y voltaje de aceleración.
  • Consiga imágenes sin distorsión y alta resolución con la ayuda de la óptica libre de campos magnéticos cercanos.
  • Obtenga información únicamente de la capa más alta de sus muestras con el detector Inlens SE que produce imágenes de los verdaderos electrones SE 1 sensibles a la superficie.

Géminis 1 Novedades. El desarrollo continúa. 

Las aplicaciones SEM hoy en día exigen imágenes de alta resolución con baja energía de aterrizaje como estándar.

Es esencial para: 

  • Muestras sensibles al haz.
  • Materiales no conductores.
  • Obtener información verdadera de la superficie de la muestra sin señal de fondo indeseable de capas de muestra más profundas.

La nueva óptica Gemini está optimizada para resoluciones con voltajes bajos para mejorar el contraste. Las características tecnológicas son el modo de alta resolución de pistola, la lente nano GeminiSEM 500 y la deceleración tandem opcional.

El modo de resolución de pistola alta da como resultado: 

  • Reducción de la aberración cromática gracias a la reducción del ancho de la energía primaria en un 30%.
  • permite tamaños de sonda aún más pequeños.

La lente Nano-Twin ofrece: 

  • Mejor resolución a  voltajes bajos y ultrabajos optimizando la geometría y las distribuciones electrostáticas y del campo magnético.
  • Una señal de detector de Inlens mejorada en condiciones de imagen de baja tensión.

Tandem decel le permite maximizar imágenes de alta resolución en muestras adecuadas:

  • Tandem decel, un modo de desaceleración en dos pasos, combina la tecnología de refuerzo de haz con un alto voltaje de polarización negativa que se aplica a la muestra: los electrones del haz de electrones primario se desaceleran por lo que la energía de aterrizaje se reduce efectivamente.
  • Se utiliza para mejorar más la resolución por debajo de 1 kV y aumenta la eficiencia de detección de los detectores de diodos retrodispersados.
  • Tandem decel opcional de polarización de muestra de hasta 5 kV mejora más las capacidades de imagen a bajos voltajes.

Aproveche la Óptica Gemini 2.

Una caracterización completa de cualquier muestra requiere un rendimiento en imágenes y en análisis. Además, los usuarios de hoy esperan que la configuración y el manejo del instrumento sean fáciles. La óptica Gemini 2 responde a estas demandas:

  • GeminiSEM 450 viene con óptica Gemini 2 con doble condensador.
  • Ajuste la corriente del haz continuamente mientras el tamaño del punto se mantiene optimizado simultáneamente.
  • Cambie a la perfección entre imágenes de alta resolución (con corriente de poca luz) y modos analíticos a altas corrientes de haz.
  • Ahorrará tiempo y esfuerzo ya que no es necesario realinear el rayo después de cambiar los parámetros de imagen.
  • Manténgase flexible: use la densidad de corriente del haz más alta para obtener imágenes y análisis de alta resolución tanto en la corriente del haz alto como bajo, independientemente de la energía del haz que seleccione.
  • Su muestra no estará expuesta a un campo magnético: consiga patrones de EBSD sin distorsión e imágenes de alta resolución en un gran campo de visión.
  • Incline la muestra sin influir en el rendimiento óptico de electrones, la imagen se muestra fácilmente de forma magnética.
  • Elija un modo de reducción de carga que se adapte mejor a sus muestras de compensación de carga local y presión variable en la cámara o NanoVP.

NanoVP. Detalles Flexibles en Modo de Presión Variable.

La tecnología NanoVP ofrece la mejor manera de reducir la carga en muestras no conductoras sin comprometer las capacidades y la resolución de detección de Inlens.

  • Reduzca la carga en muestras no conductoras.
  • La tecnología NanoVP reduce el ensanchamiento del haz y, por lo tanto, permite obtener imágenes con detalles de alta resolución y una verdadera detección en el objetivo de hasta 150 Pa.
  • Los detectores Inlens SE y EsB se pueden usar, incluso de forma simultánea, en modo VP para imágenes de alta resolución de contraste de superficie y materiales.
  • La presión puede elevarse hasta 500 Pa, utilizando la detección de cámara VPSE para sus muestras más desafiantes.

ZEISS GeminiSEM 300

Más señal y detalles a muy bajos voltajes para cualquier muestra. Imágenes nítidas y con un mínimo daño a la muestra, gracias a la señal de detección de Inlens. Entre otras características se encuentran:

  • Tipo de emisión de campo térmico con estabilidad mejor que 0.2% / h.
  • Sonda actual: 3 pA – 20 nA (100 nA configuración).
  • Aumento: 12 – 2.000.000.
  • Detectores Configuración Básica: Detector retrodispersado selectivo angular.

ZEISS GeminiSEM 450

Su especialista en velocidad y sensibilidad superficial en imágenes y análisis. Logre mayor resolución espacial, alta corriente y alta resolución. Entre otras características se encuentran:

  • Tipo de emisión de campo térmico y estabilidad mejor que 0.2% / h.
  • Voltaje de aceleración de 0.02 – 30 kV.
  • Sonda actual: 3 pA – 40 nA (Configuración de 100 nA o 300 nA).
  • Resolución de Almacenamiento: Hasta 32k x 24k pixeles.
  • Aumento: 12 – 2.000.000.
  • Detectores Configuración Básica: Inlens detector de electrones secundarios, detector VPSE de alta eficiencia, Inlens Energy selected deector de retrodispersión (EsB), detector retrodispersado selectivo angular, detector STEM anular, Detector EDS.
  • Otras opciones como NanoVP, compensación de cargos locales, opciones de escenario adicionales.

ZEISS GeminiSEM 500

Observe sus muestras no conductoras en bajo vacío sin sacrificar resolución gracias a la tecnología NanoVP.

  • Tipo de emisión de campo térmico con estabilidad mejor que 0.2% / h.
  • Sonda actual de 3 pA – 20 nA (100 nA configurable).
  • Aumento: 50 – 2.000.000.

APLICACIONES | GEMINISEM 300 - 450 - 500

Ciencias de los materiales - Ciencias de la Vida - Semiconductor - Industria
Material precursor para la superficie funcional, nanopartículas de oro en esfera de poliestireno, con la imagen: geminiSEM 500 a 3 kV. Nanoestructuras de silicio grabadas a 50 V, sin sesgo de muestra. Imagen con GeminiSEM 500. Muestra: cortesía de A. Charai, Universidad de Aix Marseille, Francia. El catalizador de Cobalto soportado en sílice se caracteriza por imágenes de alta resolución y análisis de EDS a 25 kV usando GeminiSEM 450 y el detector Ultims Max 170 EDS de Oxford Instruments.
Las espumas metálicas como esta espuma de níquel de célula abierta son ampliamente utilizadas como sustrato de cátodo en baterías o supercondensadores. Superficie fracturada de un imán NdFeB. Investigación de la superficie fracturada de un imán NdFeB (desmagnetizado) con GeminiSEM 450.
Ala de polilla, detector Inlens SE, a 50 V, en alto vacío. Sección del cerebro, gran campo de visión, fotografiado con 3View® en combinación con GeminiSEM 300. Cilia, fotografiada con el detector BSD en GeminiSEM 450.
La sección del cerebro, fotografiada sin deceleración tándem da como resultado un bajo contraste. La sección del cerebro, la aplicación de Tandem decel aumenta el contraste. T4-fago, teñido negativo, imagen con un detector STEM.
Almacenamiento de datos, cabeza de lectura del disco duro.
Izquierda: detector Inlens SE. Derecha: detector Inlens EsB.
Transistor FinFET, vista desde arriba, tecnología de 22 nm, 3 kV, imágenes de BSE pura con EsB, alto contraste del material.
Los granos magnéticos de un disco duro, un medio de almacenamiento de datos magnéticos, tienen solo unos pocos nanómetros de escala, lo que afecta la densidad de los bits y, por lo tanto, la capacidad de datos del disco duro. Las espumas metálicas como esta espuma de níquel de célula abierta son ampliamente utilizadas como sustrato de cátodo en baterías o supercondensadores. NanoVP, Detector VPSE, 150 Pa, 3kV. Microestructuras de polímeros fibrosos.

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