Park NX-Hivac Microscopio de Fuerza Atómica de Alto Vacío

Park NX-Hivac permite el análisis de fallas mejorando la sensibilidad y la repetibilidad de las mediciones de AFM a través del entorno de alto vacío. Debido a que la medición de alto vacío ofrece mayor precisión, mejor repetibilidad y menos daño en la punta y la muestra que las condiciones ambientales o secas de N2, se puede medir un amplio rango de respuesta de señal en varias aplicaciones de análisis de fallas, como concentración de dopante de Microscopia de Resistencia de Expansión por Barrido (SSRM). Permite la investigación científica de materiales que requieren mediciones de alta precisión y alta resolución en un entorno vacío libre de oxígeno y otros agentes.

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FUNCIONES AVANZADAS DE AUTOMATIZACIÓN | PARK NX-HIVAC

Análisis de fallas e investigación de materiales sensibles

Control de Vacío Automático NX-Hivac

El alto vacío es controlado por Hivac Manger, bombeando para una condición de vacío optimizada y los procesos de ventilación se controlan lógica y visualmente con un clic de un botón. Cada proceso se supervisa visualmente mediante el color y los cambios esquemáticos; no tendrá que preocuparse por la secuencia de la operación de vacío después de hacer clic en un botón. El software de control de vacío más rápido y sencillo le brinda una operación AFM fácil de usar y una mejor productividad.

Automatización StepScan con Etapa Motorizada

StepScan brinda a los usuarios la capacidad de programar el dispositivo para crear imágenes de múltiples regiones de forma rápida y fácil. El NX-Hivac le permite escanear una muestra en solo cinco pasos: Escanee, levante el voladizo, mueva el escenario motorizado a la coordenada, enfoque y repetición definidos por el usuario. Esto aumenta enormemente la productividad y reduce la entrada de usuario requerida al mínimo absoluto.

Alineación Láser Motorizada

La alineación del rayo láser motorizado de Park permite al usuario continuar con rutinas de medición automáticas sin la intervención del usuario. Con nuestro avanzado soporte voladizo prealineado, el rayo láser se enfoca en el voladizo en el intercambio de punta. La mancha láser se optimiza a lo largo de los ejes X e Y mediante perillas de posicionamiento motorizadas.

Aumento de la Precisión y la Productividad

Con Park NX-Hivac, puede aumentar su productividad y confiar en que sus resultados sean sólidos. Escáneres XY y Z de lazo cerrado: Aunque el NX-Hivac es el AFM de alto rendimiento más preciso del mundo, también es uno de los AFM más fáciles de usar y convenientes para las aplicaciones de análisis de fallas. Con Park NX-Hivac, puede aumentar su productividad y confiar en que sus resultados sean sólidos. Sensores de posición XYZ de bajo ruido: El NX-Hivac presenta el detector Z de bajo ruido líder en la industria de Park AFM que puede medir con precisión la topografía de la muestra mientras que el escaneo XY de bajo ruido reduce la brecha de escaneo hacia adelante y hacia atrás a menos del 0.15% del rango de escaneo. Electrónica digital de 24 bits: Nuestro controlador es un dispositivo totalmente digital de alta velocidad de 24 bits que brinda al usuario la posibilidad de realizar una amplia gama de escaneos, incluido nuestro modo True Non-Contact.

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Park Alto Vacío Automático Materiales Sensibles a la Atmósfera

El alto vacío es controlado por Hivac Manger, bombeando para el vacío optimizado. Los procesos de condición y ventilación se controlan lógica y visualmente con un solo botón. Cada proceso se supervisa visualmente por color y cambios esquemáticos, no tendría que preocuparse por la secuencia de la operación de vacío. El software de control de vacío más rápido y sencillo le brinda facilidad en la operación y mejor productividad de uso en AFM.

ESPECIFICACIONES TÉCNICAS | NX HIVAC

Ideal para análisis de fallas e investigación de materiales sensibles

Escáner XY: 50 μm × 50 μm (100 μm x 100 μm opcional)
Escáner Z: 15 μm

Objetivo objetivo: CCD de 10 × 5M píxeles.

Recorrido de la etapa XY: 22 mm x 22 mm.
Tamaño de la muestra: 50 mm x 50 mm hasta 20 mm de espesor.

Cámara de Vacío Interna: 300 mm x 420 mm x 320 mm.
Vacío Externo (incluido el granito y la bomba): 800 mm x 950 mm x 730 mm.

SmartScan: software operativo Park AFM.
XEI: software de análisis de datos AFM.
Hivac Manager: software automático de control de vacío.

Nivel de vacío: generalmente menos de 1 x 10 -5 torr
Velocidad de bombeo: alcance a 10 -5 torr en 5 min.

ADC: 18 canales. 4 canales de ADC de alta velocidad (50 MSPS), ADC de 24 bits para los sensores de posición X, Y y Z.
DAC: 12 canales. 2 canales DAC de alta velocidad (50 MSPS), DAC de 20 bits para posicionamiento X, Y y Z y 3 canales de amplificador de bloqueo integrado

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